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ellissometro

Un ellissometro è uno strumento di analisi e di caratterizzazione delle superfici che misura le variazioni di polarizzazione di una fascio luminoso quando questo è riflesso da una superficie che si intende analizzare.

Applicazioni

Gli ellissometri possono essere utilizzati per misurare lo spessore di strati sottili nell'ambito dell'industria ottica o microelettronica, per analizzare gli strati di protezione e nel trattamento di superficie, per misurare la rugosità di una superficie, ecc.

Tecnologie

I principali tipi di ellissometro sono gli ellissometri spettroscopici, che scansionano lo spettro luminoso, e quelli laser, che si avvalgono di una sorgente laser monocromatica.