Le cartucce filtranti ad alta portata della serie L8E Ф83 sono progettate specificamente per le applicazioni di lavorazione a umido nella produzione di TFT-LCD, come lo sviluppo, l'incisione, la pulizia del substrato e il risciacquo con acqua DI. I filtri sono disponibili in vari materiali e in un'ampia gamma di gradi di rimozione, grazie alla loro struttura unica e all'elevata area di filtrazione, che consente di ridurre i costi di sostituzione e di esercizio. Hanno un'eccellente compatibilità con i vari liquidi di processo e sono in grado di raggiungere i 100 litri al minuto richiesti per il processo G4-5.
Caratteristiche e vantaggi
ampia gamma di materiali e gradi di rimozione
elevata area di filtrazione e lunga durata di esercizio
elevate portate e basse perdite di carico
riduzione dei costi operativi di filtrazione
Qualità
cartucce prodotte in ambiente controllato
● Prodotte secondo il sistema di gestione della qualità certificato ISO9001
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