Misuratore di vuoto capacitivo a membrana SPG

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Lo SPG5A-6A è un manometro a diaframma capacitivo a vuoto che utilizza un sensore di pressione capacitivo in zaffiro per ottenere un'elevata precisione ed affidabilità, dimensioni compatte e peso leggero. Sono disponibili modelli auto-riscaldanti e non auto-riscaldanti. Lo SPG5A/6A è particolarmente adatto per l'uso nella produzione di semiconduttori. Caratteristiche * - Utilizza uno zaffiro monocristallo per un'eccellente resistenza alla corrosione e alle alte temperature Il materiale di rilevamento della pressione dello zaffiro a cristallo singolo, altamente resistente alla corrosione e al calore, ha anche eccellenti caratteristiche meccaniche. La misura capacitiva ha un'elevata ripetibilità anche quando viene usata ad alta temperatura * - Misurazioni altamente accurate L'avanzata tecnologia di elaborazione del segnale contribuisce ad eccellenti caratteristiche di temperatura e linearità di misura * - Compatto e leggero Piccolo nelle dimensioni e leggero nel peso, grazie alla tecnologia di microlavorazione * - Tempo di riscaldamento veloce e controllo stabile della temperatura del sensore Il controllo PID digitale basato su microprocessore fornisce un riscaldamento veloce e una temperatura stabile del sensore (modelli auto-riscaldanti).