Piastra a vuoto
Berliner Glas KGaA Herbert Kubatz GmbH & Co.
I sistemi bloccanti affidabili - mandrini elettrostatici o mandrini di vuoto - comprendono i vantaggi significativi quali i sistemi integrati riscaldamento/di raffreddamento e scelgono bloccare parteggiato parteggiato o doppio con l'abitudine delle strutture adeguata a i nostri requisiti del cliente.
Planarità estremamente alta e deviazione molto bassa di parallelismo, il BERLINESE GLAS fornisce l'industria con le soluzioni bloccanti ultraveloci per più alto rendimento e l'ultimo beneficio per l'apparecchiatura favolosa di alto potere.
Con molti anni di esperienza di elettrostatico e vacuum le soluzioni bloccanti per il processo di litografia a semiconduttore, BERLINESE che GLAS è una delle aziende che sostengono la litografia di EUV.
