Vaporizzatore
Brooks Instrument

Un vaporizzatore liquido diretto dell'iniezione dei ruscelli impiega il gas caldo, piuttosto che una superficie di metallo calda, per compire la vaporizzazione liquida. Mentre il liquido entra nella camera a gas calda, è atomizzato tramite un flusso del gas inerte. Una volta che il liquido atomizzato si mette in contatto con il gas caldo, immediatamente cambia al vapore. Il risultato è vapore chimicamente puro, esente dai sottoprodotti di decomposizione o dal residuo liquido. Inoltre, un vaporizzatore liquido diretto dell'iniezione dei ruscelli può accettare gli ingressi liquidi multipli e genererà i vapori perfettamente misti. I ruscelli offre parecchi disegni dello scambiatore di calore per accomodare una vasta gamma straordinario delle proprietà liquide: estremamente - pressioni di vapore basse (sommergibile 1 torr), molto tassi di flusso debole (sommergibile 5 grammi all'ora) e portate molto alte (più di 15 kg/hr). Diverso delle vasche di gorgogliamento e dei vaporizzatori del hotsurface, i vaporizzatori liquidi diretti dell'iniezione dei ruscelli sono estremamente efficienti a produrre il vapore dal liquido.

I ruscelli che il vaporizzatore liquido diretto dell'iniezione è vicino ad essere un allineare “vapore-su-richiedono„ il sistema perché aumentare, fare diminuire, o arrestare il flusso liquido incompressibile provocano rapidamente il cambiamento voluto nel flusso del vapore. Figura 2 dimostra la risposta estremamente veloce dei ruscelli del vaporizzatore liquido diretto dell'iniezione a 900 sfide tetraetiliche di punto (TEOS) del orthosilicate di g/hr. Tramite il confronto, per esempio, le grandi vasche di gorgogliamento comunemente usate per MTS (methyltrichlorosilane), BCl3, TiCl4 e simili liquidi essere difficile da iniziare, funzionare ed arrestarsi efficace.