SiBrickScan (SBS) è un sistema at-line dedicato per la quantificazione FTIR dell'ossigeno interstiziale in lingotti completi di silicio, con conseguente preciso profilo di concentrazione lungo l'asse longitudinale. L'accesso a queste informazioni senza dover tagliare wafer o preparare campioni di prova è un grande vantaggio economico: qualificare i singoli lingotti prima del taglio e ottimizzare il processo di cristallizzazione del Si!
Caratteristiche uniche di SBS:
- Elevata sensibilità con limiti di rilevazione dell'ossigeno ottenibili < 2 ppma
- Calibrazione di alta qualità direttamente collegata ad ASTM/SEMI 1188
- Disponibile per lingotti quadrati e cilindrici di diverso diametro
- Innovativo percorso del fascio ad alta sensibilità con campione di riferimento integrato
- Interfaccia utente intuitiva e confortevole
- Valutazione automatizzata dei dati
- Design robusto e compatibile con l'industria, con azionamento lineare preciso
- Rivelatore a infrarossi libero Liquid N2 free
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