Macchina per deposizione PECVD DLC

di carbonio con struttura a diamantesottovuotoper optoelettronica

LEYBOLD OPTICS DLC è un sistema di deposito di vapore chimico (PECVD) per l'applicazione di rivestimenti antiriflesso (AR) utilizzati principalmente nelle applicazioni all'infrarosso (IR) per sistemi di imaging termico. I leader del settore utilizzano le apparecchiature LEYBOLD OPTICS DLC per proteggere le apparecchiature ottiche dai danni causati dai rivestimenti ottici estremamente duri e resistenti all'ambiente che vengono applicati sui substrati all'interno di questa macchina. Il design del sistema consente di ottenere superfici di strato estremamente dure Il sistema LEYBOLD OPTICS DLC è stato progettato per la produzione di rivestimenti per strati di carbonio duro (DLC) tipo diamante per applicazioni IR antiriflesso su substrati di germanio (Ge) e silicio (Si) Gli strati DLC estremamente duri proteggono le superfici ottiche esposte e aumentano la trasmittanza a infrarossi. L'uniformità dello strato consente l'utilizzo per applicazioni in condizioni di scarsa illuminazione In base al design della doccia a gas, i gas di processo vengono distribuiti all'interno della camera di processo in modo straordinariamente uniforme. In questo modo, la crescita dello strato di pellicola sul substrato è estremamente accurata, che è la chiave per le applicazioni in condizioni di scarsa luminosità, come i dispositivi di visione notturna, i sensori per il controllo della distanza o altre applicazioni in cui viene utilizzata la luce nella lunghezza d'onda IR. Il sistema di monitoraggio ottico in situ garantisce un'elevata precisione Le precisioni richieste sullo spessore dello strato e sulla ripetibilità del rivestimento rendono essenziale controllare costantemente la crescita dei film DLC ottici durante il processo di rivestimento.