Micro filtri in-linea dal gas di Wafergard® III N-F
Filtrazione polverizzata superiore per filtrazione del sistema di gas di ultrapure
Il più pulito, la maggior parte dei filtri tutti di metallo efficienti disponibili
La membrana brevettata del filtrante del nichel offre la resistenza della corrosione superiore e la compatibilità eccellente con i gas inerti e reattivi. (Non suggerito per uso con il CO, O3 ed i gas a basso livello del dopant dell'idruro.)
Ideale per le applicazioni di dinamico-pressione e di temperatura elevata
Materiali:
Elemento filtrante: Filtro da membrana brevettato e sinterizzato del nichel.
Alloggiamento: Alloggiamento dell'acciaio inossidabile di Electropolished F20
Interiore superficie di finitura: Ra del μin <=5
Valutazione della perdita dell'elio: 2 `qualificato 10-10 atmosfera-cc/sec. Provato 1 `10-9 atmosfera-cc/sec.
Pulizia a valle:
Particles1: Meno di 0.03 particelle/litro (μm =0.003
Ritegno della particella:
Più maggior di 99.9999999% rimozione (9 LRV) di tutte le particelle (al massimo dimensione delle particelle penetrante riferita)
Condizioni di gestione:
Pressione di ingresso massima: 207 barra (3000 PSI) @100°C
Pressione differenziale massima inverso/di andata: 35 barra (500 PSID)
Temperatura di funzionamento massima: Gas inerti 400°C 35 ai gas corrosivi e reattivi 50°C della barra (500 PSI) 70 alla barra (1000 PSI)
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