Sistema di posizionamento moduli combinati ZT
XYverticaleper ispezione Wafer e metrologia

sistema di posizionamento moduli combinati
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Caratteristiche

Numero di assi
XY
Struttura
verticale
Applicazioni
per ispezione Wafer e metrologia, per camera bianca
Altre caratteristiche
moduli combinati

Descrizione

Lo ZT box è un modulo che combina due gradi di libertà, in Z e Theta, in un'unica unità. Sono possibili due azionamenti lungo la direzione Z, uno grossolano e uno fine. Questo modulo può essere utilizzato in modalità standalone o montato sopra una piattaforma XY. Questo modulo è particolarmente adatto per applicazioni di controllo di processo per wafer come la metrologia a film sottile, dimensioni critiche, ecc. Caratteristiche - Rotazione infinita - Alimentazione sottovuoto incorporata a livello del mandrino per wafer - Compensatore di gravità incorporato - Compatibile con ISO1 camera bianca grazie all'aspirazione a vuoto - Asse Z grosso con corsa 12 mm per carico/scarico wafer e Z fine con corsa 4 mm per la regolazione della messa a fuoco - La versione senza Z grezzo può essere fatta senza Z grezzo - Molto buono Z jitter così come muoversi e stabilizzarsi Caratteristiche principali - Ripetibilità bidirezionale: ±0,3 µm per Z e ±2 arcsec per T - Precisione di posizione: ±0,6 µm per Z e ±3 arcsec per T - Accelera fino a: 0.1 m/s per Z e 15,7 rad/s per T - Accelerazione fino a: 0.2 g per Z e 104,7 rad/s² per T - Stabilità di posizione: ±5 nm per Z e ±0,2 archi per T - Capacità di carico: 1 kg

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Fiere

Fiere a cui parteciperà questo venditore

BIEMH 2024
BIEMH 2024

3-07 giu 2024 Bilbao (Spagna) Hall 6 - Stand C-04

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