Lo ZT box è un modulo che combina due gradi di libertà, in Z e Theta, in un'unica unità. Sono possibili due azionamenti lungo la direzione Z, uno grossolano e uno fine. Questo modulo può essere utilizzato in modalità standalone o montato sopra una piattaforma XY. Questo modulo è particolarmente adatto per applicazioni di controllo di processo per wafer come la metrologia a film sottile, dimensioni critiche, ecc.
Caratteristiche
- Rotazione infinita
- Alimentazione sottovuoto incorporata a livello del mandrino per wafer
- Compensatore di gravità incorporato
- Compatibile con ISO1 camera bianca grazie all'aspirazione a vuoto
- Asse Z grosso con corsa 12 mm per carico/scarico wafer e Z fine con corsa 4 mm per la regolazione della messa a fuoco
- La versione senza Z grezzo può essere fatta senza Z grezzo
- Molto buono Z jitter così come muoversi e stabilizzarsi
Caratteristiche principali
- Ripetibilità bidirezionale: ±0,3 µm per Z e ±2 arcsec per T
- Precisione di posizione: ±0,6 µm per Z e ±3 arcsec per T
- Accelera fino a: 0.1 m/s per Z e 15,7 rad/s per T
- Accelerazione fino a: 0.2 g per Z e 104,7 rad/s² per T
- Stabilità di posizione: ±5 nm per Z e ±0,2 archi per T
- Capacità di carico: 1 kg
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