Modulo di controllo per wafer VULCANO XYZ3TH

6 assi

La piattaforma di VULCANO XYZ3TH si compone del DI X-Y di VULCANO standard equipaggiato con il modulo combinato Z3TH. Questi 4 gradi di modulo di libertà, fornisce la rotazione di teta 364°, le doppie Z-asce, grezza per il wafer che carica e che scarica e fine per adeguamento del fuoco come pure una correzione di inclinazione e di punta sopra ±0.1°. Caratteristiche - Orma compatta - Stabilità di posizione di nanometro - Alta dinamica: 2,5 g, 1,5 m/s - Tempi bassi di cassapanca e di movimento - Stanza pulita ISO1 compatibile - Correzione di Punta-inclinazione sopra ±0.1° - Doppia integrazione di Z - Compensatore incorporato di gravità nella Z - Rettitudine eccezionale di Z - Ripetibilità migliorata e nervosismo di Z - Capacità di correggere planarità della fase - Rifornimento incorporato di vuoto al livello del mandrino