Macchina per testurizzazione ad acido

laser

La testurizzazione acida viene applicata ai wafer multicristallini. In questo processo vengono rimosse le impurità e i danni causati dal processo di segatura. Allo stesso tempo, la superficie del wafer viene ingrandita. La struttura superficiale isotropa riduce la riflessione e influisce quindi in modo decisivo sull'efficienza della cella. Il sistema di testurizzazione acida in linea di SCHMID consente di ottenere qualità superficiali perfette. Ogni singolo componente racchiude oltre 40 anni di esperienza del leader di mercato nel trattamento a umido. Le pompe a controllo di frequenza assicurano una circolazione continua dei prodotti chimici e quindi una testurizzazione uniforme dei wafer su tutta la larghezza di lavoro. Grazie al dosaggio automatico e al monitoraggio del bagno, l'operatore della macchina ha sempre il pieno controllo dell'intero processo. Tutti i valori misurati sono registrati digitalmente e visualizzati tramite l'unità operativa SCHMID Watch. Un dispositivo opzionale di misurazione a riflessione all'uscita conferma la riproducibilità. Il sofisticato sistema di trasporto garantisce bassi tassi di rottura dei wafer. Una nuova generazione di rulli spatolatori riduce ulteriormente e in modo significativo il trascinamento. Inoltre, la tecnologia a cascata multipla riduce al minimo il consumo di acqua DI. I vapori generati sopra i bagni chimici e nel serbatoio vengono estratti in modo efficiente attraverso il sistema di scarico. Grazie al design modulare del sistema in linea, la produzione e le fasi del processo possono essere adattate alle esigenze dei clienti. Manipolazione delicata dei wafer senza danni da trasporto Controllo del processo mediante dosaggio automatico e monitoraggio del bagno Circolazione continua del prodotto chimico per la massima riproducibilità Basso consumo di acqua e di chimica