Macchina di ispezione ottica LS series
di superficieper wafer non incisoindustriale

macchina di ispezione ottica
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Caratteristiche

Tecnologia
ottica
Applicazioni
di superficie, per wafer non inciso
Settore specifico
industriale
Altre caratteristiche
di difetti, ad alta velocità

Descrizione

Il sistema di ispezione della superficie dei wafer della serie LS è in grado di rilevare i difetti sui wafer non sottoposti a modellazione con una superficie rifinita a specchio. La tecnologia applicata della diffusione laser consente di ottenere un'elevata sensibilità e un'alta produttività nel rilevamento di piccoli contaminanti e di vari tipi di difetti sulle superfici dei wafer prima della modellazione. I difetti della superficie dei wafer, come i difetti di planarità dovuti a graffi superficiali, le macchie d'acqua, i difetti di epi stacking, le sporgenze dovute al processo di lucidatura e i difetti di planarità causati durante la deposizione, causano problemi nei processi di nuova generazione. La serie LS raggiunge un'elevata sensibilità rilevando la luce diffusa dai difetti e sopprimendo il rumore di fondo della superficie del wafer. È ampiamente adottata per controllare la contaminazione nella produzione di semiconduttori su scala 10-nm e per il controllo della qualità dei wafer in entrata e in uscita. Ottica - La nuova ottica garantisce un'ispezione ad alta sensibilità Stadio per wafer - Lo stadio ad alta velocità garantisce un'ispezione ad alta produttività Applicazioni - Per i produttori di dispositivi: ispezione in ingresso e monitoraggio degli strumenti di processo - Per i produttori di utensili e materiali: utilizzo della valutazione dei processi e dei materiali - Per i fornitori di wafer: ispezione in uscita con gestione dei bordi dei wafer Rilevamento dei difetti - Discriminazione del rilevamento ad alta precisione Dimensione del wafer - φ300 mm

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Fiere

Fiere a cui parteciperà questo venditore

analytica 2024
analytica 2024

9-12 apr 2024 München (Germania) Hall A2 - Stand 113

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    36th Control 2024
    36th Control 2024

    23-26 apr 2024 Stuttgart (Germania) Stand 7103

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