microscopio per analisi / elettronico a scansione / a nanofocale
NP6800 Hitachi High-Technologies Europe

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Caratteristiche

  • Applicazioni tecniche:

    per analisi

  • Tipo:

    elettronico a scansione

  • Altre caratteristiche:

    a nanofocale

Descrizione


La Hitachi NP6800 è ad un sistema di sondaggio dedicato basato a SEM destinato per soddisfare le esigenze analitiche del dispositivo a semiconduttore di nodo di progettazione di 10 nanometro e di là.
Dall'l'azionatore guidato da piezoelettrica di precisione è fornito della X, Y e le asce di Z sondano i movimenti permettendo che le sonde siano controllate molto precisamente per la misurazione delle caratteristiche elettriche di singolo transistor del MOS.
Il concetto di progetto era di creare un sistema di sondaggio di facile impiego (come un sistema di sondaggio ottico) mentre manteneva questa stessa facilità dell'operazione anche nell'ambito dell'ambiente di vuoto con la nostra progettazione intuitiva dell'operazione della sonda.
Panoramica
Questo a sistema di sondaggio basato a SEM è usato per analizzare i difetti ed i guasti che possono svilupparsi durante il processo di fabbricazione di tutti i dispositivi a semiconduttore del nanoscale.
Il Nano-perforatore NP6800 impiega una fonte fredda ottimizzata dell'elettrone dell'campo-emissione, un sistema del otto-perforatore, una fase a temperatura controllata da -40 F a 302 la F (- 40 gradi. a 150 gradi.), ad un sistema di misura di CA (facoltativo) per rilevazione di portone-resistenza, ad un sistema di EBAC in breve ed alla localizzazione aperta di guasto ed alle unità di scambio dell'esemplare e della sonda per il più alta capacità di lavorazione.
Il Nano-perforatore NP6800 è stato sviluppato come un sistema disondaggio dedicato per non solo l'operazione di alto-capacità di lavorazione, ma anche le misure della alto-stabilità dei dispositivi a semiconduttore della nano-scala. Il sistema è capace di valutazione le caratteristiche elettriche, EBAC, l'EBIC, l'impulso IV e dei requisiti della temperatura dei dispositivi del nanoscale.

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