Ellissometro spettroscopico UVISEL 2 VUV

Il VUV di UVISEL 2 è una generazione del Ne di ellipsometer di modulazione di fase per la misura del VUV. È il ellipsometer spettroscopico principale disponibile, progettato trasportare le misure più rapide del film sottile sopra la più grande lunghezza d'onda, da 147 a 2100 nanometro. Il VUV di UVISEL 2 è metà e metà un ellipsometer, misura per il lavoro in 2 modi, nell'ambito di azoto o del vuoto essenziale. Il suo profilo meccanico è migliorato per utilizzazione bassa dell'azoto giù a 6l/min e considera il caricamento rapido del campione. L'opzione di otto dimensioni di punto è perfetta per la misura minima di area e una camera subito disponibile nella parte anteriore fa il campione che carica estremamente adatto. Comprende le doppie fonti di vitalità di alto potere, l'alta ottica di capacità di lavorazione, un modulatore flessibile della fotografia Caf2 e due monocromatori avanzati. Il VUV di UVISEL 2 dà l'alta sensibilità alle lunghezze d'onda del VUV.