Evaporatore termico LSC series

di processoper liquidi

Il sistema di cottura più venduto di HORIBA è stato sviluppato per soddisfare i requisiti delle odierne industrie ad alta tecnologia. Senza la necessità di un gas di trasporto, il sistema è in grado di fornire una vaporizzazione stabile di materiali come TEOS (a una velocità di 600 SCCM) e H2O (a una velocità di 2 SLM). Per facilitare l'accesso, la manutenzione del dispositivo può essere eseguita dalla parte anteriore dell'unità. Caratteristiche Gassificazione ad alta portata LSC-A100 fornisce una gassificazione stabile di materiali come TEOS 600SCCM e H2O 2SLM Tutte le operazioni di manutenzione del dispositivo possono essere eseguite dalla parte anteriore dell'unità Un PDA opzionale di tipo PocketPC può essere utilizzato per monitorare le condizioni operative dell'LSC e per registrare e analizzare i registri di funzionamento.