Sistema di monitoraggio dei gas IR-400

Monitoraggio dei gas di tipo avanzato per il monitoraggio del punto finale della pulizia della camera L'IR-400 offre il monitoraggio in tempo reale del punto finale della pulizia della camera durante il processo di deposizione. Ottimizzando il processo di pulizia, l'IR-400 riduce i tempi di pulizia e il consumo di gas. La riduzione del consumo di gas di pulizia porta a una riduzione dei danni alla camera e aumenta la durata di tutti i componenti del sistema. Monitoraggio multigas (SiF4 e CF4 supportati) (IR-422) Alta sensibilità Funzione di riscaldamento della cella di gas fino a 180 dec.C Display multiplo Comunicazione analogica/digitale. Vantaggi del monitoraggio dell'end-point in tempo reale con l'IR-400 Riduzione dei tempi di pulizia della camera Riduzione dell'uso di gas detergenti Processo di pulizia ripetibile e prevedibile Maggiore durata dei componenti della camera