Strumento di caratterizzazione a sensore unico Vertex

plasmadi distribuzione di energia ionica

Il Vertex Single Sensor misura la distribuzione di energia ionica in funzione del rapporto di aspetto che colpisce una superficie all'interno di un reattore al plasma. Questo esclusivo strumento di caratterizzazione al plasma può anche misurare l'energia ionica, il flusso ionico e la tensione di polarizzazione. L'angolo di ioni che colpisce il fondo di un elemento può essere determinato dalla distribuzione dell'energia ionica in funzione del rapporto di aspetto che consente agli utenti di monitorare la qualità del profilo di incisione in una determinata posizione nel reattore al plasma. Il Vertex Single Sensor misura la distribuzione dell'energia ionica in funzione del rapporto d'aspetto, dell'energia ionica, del flusso di ioni, degli ioni negativi e del Vdc su una superficie all'interno di un plasma. Il Vertex Single Sensor è sempre più utilizzato in molte applicazioni nell'industria e nella ricerca, come l'incisione al plasma, i fasci ionici e lo sputtering al plasma per la caratterizzazione del plasma e l'analisi dell'interazione con il plasma. Il Vertex Single Sensor consente all'utente di risparmiare tempo prezioso nella conferma dei modelli, nello sviluppo di nuovi processi e negli esperimenti che utilizzano il plasma, la progettazione di utensili al plasma e la ricerca sul plasma. Il Vertex Single Sensor è alloggiato in un'unità elettronica montata su rack da 19", un passante per il vuoto e un supporto per sensori situato ovunque all'interno di una camera al plasma o a fascio. La posizione può anche essere un elettrodo alimentato a RF o DC e può utilizzare un sensore sostituibile con sonda a bottone. L'unità elettronica si collega a un computer portatile o a un PC e utilizza la suite software intelligente Vertex. Il Vertex Single Sensor ha un numero di opzioni di supporto che vanno da 50 mm a 450 mm e dipenderà dall'applicazione dell'utente. Gli utenti possono selezionare un sensore da 50 mm e spostare fisicamente il sensore per misurare in diverse posizioni della camera.