Sonda di Langmuir Plato Spatial

a densità plasmatica

Plato Spatial Probe è una sonda di Langmuir per il plasma del deposito. Esplora attraverso la massa di un plasma per misurare l'uniformità dei parametri del plasma alle posizioni differenti. È destinato per lavorare nei plasmi del deposito anche quando uno strato isolante è depositato sulla superficie della sonda. I parametri del plasma di misure di Plato Probe quali densità del plasma, densità di corrente dello ione e la temperatura dell'elettrone alle posizioni differenti attraverso il plasma anche quando il plasma ha un alto tasso di deposito. Ora è possibile misurare l'uniformità dei parametri del plasma in un plasma che deposita uno strato isolante. Plato Spatial Probe viene completo con un sistema di azionamento lineare automatizzato che misura i parametri principali di plasma alle posizioni differenti dentro un reattore del plasma. Plato Spatial Probe è la prima sonda di Langmuir sul mercato che può funzionare in un plasma con gli alti tassi di deposito e chiave al suo successo è la sua capacità di misurare esattamente i parametri chiave del plasma con uno strato isolante parecchi micron densamente. Il deposito degli strati isolanti non colpisce l'accuratezza della caratterizzazione del plasma della sonda.