Il sistema diagnostico Octiv Suite RF (VI Probe) è un sistema diagnostico in linea di tensione, corrente, fase, armoniche e plasma. È in grado di misurare tutti i parametri della potenza RF, suddividerli fino alle loro singole componenti e ricostruire simultaneamente la forma d'onda di più frequenze fondamentali. Questo sistema all'avanguardia può anche misurare parametri del plasma, come il flusso ionico, utilizzando l'elettrodo RF come sensore. La suite Octiv è davvero una classe a sé stante per quanto riguarda l'erogazione di potenza in un reattore al plasma.
Octiv Suite misura tensione, corrente, fase, impedenza e armoniche e le misure possono essere visualizzate da un PC o direttamente all'unità di misura.
Il sistema diagnostico Octiv Suite RF (VI Probe) permette agli utenti di misurare un certo numero di frequenze fondamentali ed estrarre tutte le informazioni armoniche di ciascun parametro misurato simultaneamente mentre si ricostruiscono forme d'onda multiple
Octiv Suite è una tecnologia all'avanguardia unica nel suo genere che consente agli scienziati di valutare complesse interdipendenze dei parametri RF in aree quali le prestazioni del processo al plasma. La Suite Octiv misura e visualizza la complessa forma d'onda. Il software estrae e analizza i principali parametri RF come tensione, corrente e fase di tutti i componenti complessi che compongono la forma d'onda.
La diagnostica Octiv Suite RF (VI Probe) può essere utilizzata per diagnosticare parametri del plasma come il flusso ionico, la resistenza al plasma e l'impedenza non lineare della guaina. Octiv Suite caratterizzerà un carico non lineare con molteplici frequenze fondamentali, componenti ad alta armonica e intermodulazione.
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