Allineatore di maschera per wafer

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Caratteristiche

Specificazioni
per wafer

Descrizione

I preallineatori della serie LPA sono soluzioni innovative, di alta precisione, compatibili con la classe 1, con elettronica di scansione integrata. I preallineatori sono progettati e prodotti da Logosol, Inc. USA e isel Germany AG è il distributore autorizzato esclusivo per l'Europa Descrizione I preallineatori della serie LPA sono soluzioni di preallineamento innovative, ad alta precisione, compatibili con la classe 1, con elettronica di scansione integrata. I preallineatori sono progettati e prodotti da Logosol, Inc. USA e isel Germany AG è il distributore autorizzato esclusivo per l'Europa. Caratteristiche - Tempo del ciclo di allineamento < 2,5 secondi - Misurazione senza contatto tramite LED e sensore CCD - Elettronica di scansione integrata - Carico del mandrino - Cambio di dimensione dei wafer senza modifiche meccaniche - Wafer trasparenti, semi-trasparenti, punzonati e opachi alihnabili - Specifiche SEMI, Flat e notch wafer - Per wafer di dimensioni da 3'' fino a 12 - Configurazioni di cavi con ingresso laterale e posteriore

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