Il robot della serie TTS può accedere a 2 e 3 FOUP di EFEM senza binario. Il sistema di trasmissione appositamente progettato consente al robot di muoversi in modo incredibilmente fluido e preciso. Inoltre, il suo rigido meccanismo telescopico garantisce una movimentazione ad alta velocità in posizioni alte e basse.
La serie è conforme agli standard SEMI-F47 e SEMI-S2.
Applicazioni
Manipolazione di wafer di silicio
---