sistema di misurazione a laser / in tempo reale
ATL™ KLA - TENCOR

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sistema di misurazione a laser / in tempo reale sistema di misurazione a laser / in tempo reale - ATL™
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Caratteristiche

  • Tecnologia:

    a laser, in tempo reale

Descrizione

Al il sistema basato scatterometry della metrologia della sovrapposizione di ATL100™ (laser musicale accurato) fornisce il controllo della sovrapposizione per lo sviluppo e la fabbricazione in grande quantità ai nodi di progettazione di ≤7nm. La tecnologia laser musicale con risoluzione 1nm accoppiata con Homing™ in tempo reale mantiene l'alta accuratezza della sovrapposizione in presenza delle variazioni del processo di produzione. Il ATL100 sostiene una diversa gamma di progettazioni scatterometry dell'obiettivo di misura della sovrapposizione, compreso il in-dado ed il piccolo passo, permettendo alla misura accurata degli errori della sovrapposizione per gli strati trattati differenti, tipi di dispositivo, nodi di progettazione e modellando le tecnologie.

Applicazioni
controllo della sovrapposizione del Su prodotto, monitoraggio in-linea, qualificazione dell'analizzatore, controllo di modello, misure del In-dado

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