video corpo

Sistema di misurazione di dimensione critica SpectraShape™ series
otticoper circuiti integratiper dispositivi elettronici

sistema di misurazione di dimensione critica
sistema di misurazione di dimensione critica
sistema di misurazione di dimensione critica
Aggiungi ai preferiti
Confronta con altri prodotti
 

Caratteristiche

Grandezza fisica
di dimensione critica
Tecnologia
ottico
Prodotto misurato
per circuiti integrati
Applicazioni
per dispositivi elettronici
Altre caratteristiche
dimensionale, multicanale

Descrizione

Sistemi ottici di misura della dimensione critica (CD) e della forma Il sistema di metrologia dimensionale SpectraShape™ 10K viene utilizzato per caratterizzare e monitorare in modo completo le dimensioni critiche (CD) e le forme tridimensionali dei finFET, delle NAND impilate verticalmente e di altre caratteristiche complesse dei circuiti integrati ai nodi di progettazione 1Xnm e oltre. Utilizzando una serie di tecnologie ottiche e algoritmi brevettati, il sistema di misurazione ottica della CD e della forma SpectraShape 10K fornisce un feedback sui parametri critici del dispositivo (dimensione critica, recesso del gate metallico, recesso ad alto k, angolo della parete laterale, altezza della resistenza, altezza della maschera rigida, passo) per un'ampia gamma di applicazioni nell'ambito della fabbricazione di circuiti integrati, dai primi strati dei transistor di punta agli ultimi strati di interconnessione. Applicazioni Monitoraggio del processo in linea, controllo del patterning, espansione della finestra di processo, controllo della finestra di processo, controllo avanzato del processo (APC), analisi tecnica Prodotti correlati AcuShape®: Software di modellazione avanzato che interpreta i segnali dei sistemi SpectraShape, contribuendo ad accelerare il processo di costruzione di modelli di forma 3D robusti e utilizzabili. SpectraShape 10K: Sistemi di metrologia ottica CD e di forma che consentono di misurare caratteristiche complesse per dispositivi IC a 1Xnm di logica e memoria avanzata. SpectraShape 9000: sistemi di metrologia ottica CD e di forma che consentono di misurare caratteristiche complesse per dispositivi IC a 20 nm e nodi di progettazione inferiori.

---

Cataloghi

Nessun catalogo è disponibile per questo prodotto.

Vedi tutti i cataloghi di KLA - TENCOR
* I prezzi non includono tasse, spese di consegna, dazi doganali, né eventuali costi d'installazione o di attivazione. I prezzi vengono proposti a titolo indicativo e possono subire modifiche in base al Paese, al prezzo stesso delle materie prime e al tasso di cambio.