Macchina per deposizione PVD PVD 75

per polverizzazione catodicaper evaporazione termicasottovuoto

PRO linea serie di PVD – farfugliare versatile, fascio di elettroni, termale, & piattaforma organica di deposito di evaporazione La PRO linea serie di PVD utilizza una progettazione modulare configurabile per varie applicazioni del deposito del film sottile. Disponibile in tre dimensioni aumentanti della camera: PVD75, PVD200 e PVD500 Disponibile con il magnetron circolare compatibile del ™ UHV di TORUS® Mag Keeper che farfuglia le fonti in 2", 3", 4" diametri Disponibile con i magnetron lineari di TORUS® Disponibile con le fonti di evaporazione del fascio di elettroni della Multi-tasca Disponibile con le configurazioni termiche multiple di fonte di evaporazione Fino a due fonti organiche di evaporazione disponibili opzioni di Multi-tecnica disponibili. Esempi: Fascio di elettroni + farfugliando, fascio di elettroni + evaporazione Pompaggio approssimativo bagnato o a secco, pompa di turbo, o alte opzioni di pulsometro della pompa criogenica disponibili Configurazioni standard compatibili con fino a 11" a 20" substrati del OD (in attesa della dimensione della camera); fino al riscaldamento 850°C, raffreddante ed influenzante le opzioni disponibili Opzioni del multi-wafer e singole del carico di serratura disponibili per i substrati fino a 6" La PRO linea serie di strumenti di PVD comprende il pacchetto innovatore di controllo avanzato del eKLipse™ di KJLC