Piastra di posizionamento verticale GTS series

con motore linearemonoassialea rulli incrociati

Gli stadi della serie GTS-V raggiungono l'escursione più lunga, la velocità più elevata e la migliore precisione e ripetibilità rispetto agli altri stadi verticali a piattaforma. Il profilo ridotto e le capacità di movimento ad alta precisione rendono questo stadio una scelta eccellente per applicazioni quali l'ispezione di wafer di semiconduttori, le nanotecnologie, l'allineamento automatizzato dei dispositivi, la metrologia e i processi di controllo qualità. -30 o 70 mm di corsa verticale di precisione in un'unità compatta -Accesso senza ostacoli al carico utile da qualsiasi direzione -Movimento privo di oscillazioni ed eccezionale precisione della traiettoria grazie ai cuscinetti verticali a rulli incrociati anti-scorrimento -Elevata sensibilità, eccellente ripetibilità e alta precisione del movimento grazie a un codificatore lineare integrato Guida verticale diretta Il movimento verticale di alta precisione è ottenuto grazie a un sistema di guida verticale diretta composto da coppie di cuscinetti a rulli incrociati anti-creep per il GTS30V e da cuscinetti a ricircolo di sfere per il GTS70V. Queste guide lineari sono state scelte per garantire la traiettoria più rettilinea, un movimento fluido e preciso e un funzionamento robusto e duraturo. Inoltre, le guide a rulli incrociati nella GTS30V offrono il vantaggio di un movimento più silenzioso e privo di ondulazioni, importante nelle applicazioni di livello metrologico. Trasmissione ad alta efficienza Un motore a corrente continua ripiegato con una vite di guida rettificata di precisione e a basso attrito garantisce un movimento estremamente fluido anche con carichi elevati. Una cinghia di riduzione tra il motore e la vite di comando aumenta la coppia di uscita disponibile e riduce la sensibilità del servo, garantendo un MIM di 100 nm.