Alternativa economica ai sistemi di misurazione e ispezione dei wafer completamente automatizzati
Il prodotto può fornire la misura dello spessore e dell'arco di tutti i materiali dei wafer, compresi silicio, arseniuro di gallio, fosfuro di indio e zaffiro o nastro
Caratteristiche
La porta USB anteriore consente una facile memorizzazione delle misurazioni e di altri dati su unità flash
Circuito di capacitanza proprietario di MTI Instruments per un'eccezionale precisione e affidabilità
Misurazioni senza contatto
gamma di wafer di diametro 76-300 mm
Anelli di misurazione del wafer opzionali
Arresti del wafer per un centraggio esatto
Interfaccia Ethernet
Software di controllo remoto completo (compatibile con Windows)
Wafer di calibrazione opzionali
Informazioni sul sistema di metrologia manuale per semiconduttori
Lo spessimetro per wafer Proforma 300i è un sistema di misura differenziale basato sulla capacità che esegue misure di spessore senza contatto di wafer semiconduttori e semi-isolanti. Utilizzando la tecnologia Push/Pull di MTI, Proforma 300i non richiede che i wafer abbiano una massa elettrica costante, ottenendo una precisione e una ripetibilità eccezionali per la maggior parte dei tipi di wafer. Il sistema Proforma 300i include un software operativo di controllo remoto completo e la capacità di interfaccia di rete Ethernet.
*L'arseniuro di gallio richiede la riconfigurazione della sonda per materiali semi-isolanti oltre 10K-Ohm cm di resistenza di massa.
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