Sistema di movimentazione automatico NWL200

per microscopio di ispezionedi wafer

Gli innovativi caricatori di wafer NWL200 di Nikon, dotati di tutte le funzioni, supportano l'ispezione completa di wafer di semiconduttori con diametro di 150 mm e 200 mm mediante microscopio ottico o sistemi di misurazione video, ad esempio Nikon NEXIV. Caricatore sofisticato e affidabile per la gestione di una varietà di wafer La serie NWL è un'eccellente linea di caricatori per wafer di semiconduttori di Nikon in grado di trasferire wafer di diametro 6″ (150 mm) e 8″ (200 mm) fino a uno spessore di 100 micron (opzione) sui microscopi Nikon Eclipse L200N e LV150N o su un sistema di misurazione video NEXIV VMZ-S. Serie NWL200 - Caricatori di wafer per microscopi da ispezione IC Grazie alla straordinaria tecnologia proprietaria di Nikon, la serie NWL200 è la prima linea di caricatori di wafer per microscopi d'ispezione in grado di gestire wafer sottili 100 um, garantendo un'ispezione ad alta produttività e affidabilità per la maggior parte delle applicazioni nell'industria dei semiconduttori. Alta affidabilità nella produzione di semiconduttori Quando l'alimentazione viene interrotta inaspettatamente, il mandrino a vuoto del braccio macro rimane attivo, consentendo una rimozione sicura del wafer. Funzioni di ispezione macro È supportata l'ispezione di wafer di semiconduttori con modello frontale, periferia posteriore e area centrale. La velocità di rotazione del wafer e l'angolo di inclinazione vengono impostati automaticamente o manualmente. Progettato per la massima produttività Un rapido elevatore di cassette per wafer con un meccanismo di centratura senza contatto consente un allineamento rapido e preciso dei wafer utilizzando un sistema a più bracci per caricare e scaricare i wafer con la massima precisione. Design ergonomico L'NWL200 è progettato in modo ergonomico per facilitare l'utilizzo e il controllo. Posizionato a 35 gradi a sinistra, consente di posizionare facilmente i wafer all'interno della scanalatura e di sostituire l'intera cassetta.