Colonna Elettrone Gemelli UHV:
massima risoluzione spaziale
dimensioni più piccole dello spot del fascio elettronico
prestazioni uniche a basso consumo energetico
sEM efficiente con lente in-lente SED
NanoSAM Electron Analyser
risoluzione energetica variabile
eccellente sensibilità, rilevamento multicanale
Gestione dei campioni:
dimensione flessibile del campione
temperatura variabile del campione (50-500K)
inclinazione del campione 60
Il NanoSAM Lab è lo strumento definitivo per l'analisi di piccole strutture. Guidato dalle prestazioni uniche della colonna elettronica UHV Gemini, garantisce una risoluzione senza pari al di sotto dei 5 nm nella microscopia ad Auger Scanning Auger Microscopy (SAM) e migliore di 3 nm nel SEM.
A differenza di altri strumenti Auger, la risoluzione estremamente buona non è disponibile solo con energia standard del fascio di 20 keV, ma anche a 5 keV la risoluzione SAM rimane sotto i 10 nm. Ciò consente di operare in un intervallo di parametri in cui le sezioni trasversali della coclea sono alte e ben documentate per l'analisi quantitativa.
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