Sistema di monitoraggio per camera bianca ADPC 302

ambientale

L'ADPC 302 è un sistema di gestione della contaminazione in-process unico nel suo genere per il monitoraggio della contaminazione da particelle nell'industria dei semiconduttori. Monitoraggio efficiente delle particelle Le particelle submicrometriche possono causare difetti che possono portare a notevoli perdite di rendimento. Anche le particelle più piccole che misurano 0,1 µm possono danneggiare la struttura dei chip dei semiconduttori. L'innovativo ADPC 302 misura il numero di particelle nei trasportatori di wafer (Front Opening Unified Pod, FOUP, e Front Opening Shipping Box, FOSB). Il processo brevettato completamente automatizzato localizza e conta le particelle dalle superfici del trasportatore, compresa la porta. Qualificato da aziende leader, questo sistema può essere utilizzato sia per la produzione in serie che per l'analisi di ricerca e sviluppo. Le principali applicazioni sono la caratterizzazione del vettore, l'ottimizzazione della strategia di pulizia e il controllo della qualità della pulizia. Vantaggi Il processo a secco (Dry Particle Counter) dell'ADPC mostra chiari vantaggi rispetto al metodo tradizionale a umido (Liquid Particle Counter). Il principale vantaggio del processo a secco è che la misurazione delle particelle è completamente automatizzata. Esso è integrato nel processo di produzione e quindi non richiede tempo al di fuori del periodo di produzione. Grazie alla misurazione completamente automatizzata, il processo non richiede un operatore aggiuntivo. Il tempo di prova è di soli sette minuti, il che significa che l'ADPC 302 è quattro volte più veloce dei sistemi tradizionali. È possibile provare otto scatole di trasporto in un'ora.