Piastra di posizionamento Z P-58 series

di inclinazionepiezoelettrica1 asse

Alta dinamica con grande apertura - Cinematica parallela per tempi di risposta più rapidi e maggiore precisione multiasse - Sistema di guida a flessione ad alta precisione e a gioco zero - Eccezionale durata grazie agli attuatori piezoelettrici PICMA - Apertura libera di 66 mm × 66 mm - Massima linearità grazie ai sensori capacitivi - Metrologia - Interferometria - Fotonica / ottica integrata - Litografia - Nanoposizionamento - Microscopia a scansione - Allineamento del campione - Microlavorazioni Risoluzione subnanometrica con i sensori capacitivi I sensori capacitivi misurano con risoluzione subnanometrica senza contatto. Garantiscono un'eccellente linearità di movimento, stabilità a lungo termine e una larghezza di banda nell'intervallo dei kHz. Configurazione automatica e scambio rapido di componenti Meccanica e controllori possono essere combinati secondo le necessità e scambiati rapidamente. Tutti i parametri di servo e linearizzazione sono memorizzati nel chip ID del connettore D-sub della meccanica. La funzione di autocalibrazione dei controllori digitali utilizza questi dati a ogni accensione del controllore. Durata eccezionale grazie agli attuatori piezo PICMA® Gli attuatori piezo brevettati PICMA® sono completamente isolati in ceramica. Questo li protegge dall'umidità e dai guasti dovuti all'aumento della corrente di dispersione. Gli attuatori PICMA® offrono una durata fino a dieci volte superiore rispetto agli attuatori tradizionali isolati con polimeri. sono stati dimostrati 100 miliardi di cicli senza alcun guasto.