- Diametro della piattaforma di movimento 200 mm o 300 mm
- Profilo basso, 60 mm
- Eccentricità e planarità < 100 nm
- Opzione di autobloccaggio a riposo tramite precarico magnetico
Gli stadi di rotazione a basso profilo ad azionamento diretto della serie PIglide RL sono progettati per garantire la massima precisione con un design a basso profilo. È possibile combinare diverse opzioni per creare una soluzione ideale per l'indicizzazione punto-punto o la scansione a velocità costante. Gli stadi RL offrono una precisione di corsa, una planarità e prestazioni di oscillazione superiori.
motore di coppia trifase
- Senza spazzole
- Senza scanalature
- Bassa coppia di cogging
Encoder assoluto (opzionale)
Gli encoder assoluti forniscono informazioni di posizione esplicite che consentono di determinare immediatamente la posizione. Ciò significa che non è necessario un riferimento durante l'accensione, il che aumenta l'efficienza e la sicurezza durante il funzionamento.
Accessori e opzioni
- Encoder incrementale o assoluto
- Passaggio a vuoto
- Autobloccaggio a riposo mediante precarico magnetico
- Filtro PIglide e kit di preparazione dell'aria
- Controllori di movimento e servoazionamenti a singolo o multiasse
- Progettazioni multiasse/personalizzate
- Piastre di base in granito e sistemi per la riduzione delle vibrazioni
Campi di applicazione
Allineamento ottico, ispezione wafer, allineamento wafer, tecnologia di misura, sistemi di ispezione, calibrazione, scansione.
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