Tavola rotante motorizzato con precisione sub-micronica-rad
piezosystem jena
colpo rotativo fino a 9 MRAD/11 MRAD
alta prestazione dinamica
alto comportamento planare
il pozzo ha concentrato, asse di rotazione definito 0.2 risoluzione del µrad/0.02 µrad
apertura libera di 3mm
compensazione di temperatura integrata
applicazioni:
esame veloce
litografia
direzione del fascio laser...
Il ROTORE 10 e la fase rotativa di bassa tensione di asse dello SG uno del ROTORE 10 è uno sviluppo all'interno della nostra linea ultraveloce del ROTORE. Fornisce una gamma lunga di esame e della direzione fino a 11mrad.
L'asse di rotazione ben definito è individuato centrically.
Un'apertura libera incorporata permette le applicazioni assiali del fascio inoltre.
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zoom
