L'EPD è un sistema che migliora il bordo del wafer lucidando i wafer modellati. L'EPD rimuove le sostanze estranee e indesiderate dal bordo smussato nei nodi critici del processo. SpeedFam è il pioniere della lucidatura dei bordi per la produzione di wafer di prima qualità. Utilizziamo questo sistema con risultati sorprendenti su wafer da 300mm, 200mm e 150mm.
SpeedFam ha spedito circa 550 Edge Polishers per wafer primari dal 1988. La lucidatrice per bordi SpeedFam è lo standard globale nella preparazione dei bordi usata nelle fabbriche di wafer primari in tutto il mondo. SpeedFam supporta la produzione di wafer primari da 300mm, 200mm e 150mm.
SpeedFam EPD è una lucidatrice per bordi per migliorare i bordi dei wafer su wafer da 300 mm, 200 mm e 150 mm. Rispetto all'incisione o ad altre lavorazioni dei bordi come la semplice pulizia, l'EPD utilizza l'azione di lucidatura dello slurry per migliorare drasticamente i bordi dei wafer. È dotata di un'unità di pulizia post-lucidatura per ottenere una lavorazione dry in dry out.
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