Lucidacoste EP-X series

automaticadi superficiea specchio

La serie SpeedFam EP-X è una lucidatrice per bordi ad alta produttività per wafer di silicio da 300 mm, 200 mm e 150 mm. Oltre alla nostra esclusiva lucidatura a tre superfici (smussi superiori/inferiore e apice del wafer), forniamo anche la lucidatura a specchio della regione di orientamento piatto e tacca per rimuovere i danni e preparare l'intero dominio dell'area di smusso del bordo SpeedFam ha spedito circa 550 lucidatori del bordo per i wafer primari dal 1988. La lucidatrice per bordi SpeedFam è lo standard globale nella preparazione dei bordi usata nelle fabbriche di wafer primari in tutto il mondo. SpeedFam supporta la produzione di wafer primari da 300 mm, 200 mm e 150 mm. La serie SpeedFam EP-X è una lucidatrice per bordi ad alta produttività per wafer di silicio da 300 mm, 200 mm e 150 mm. Oltre alla nostra esclusiva lucidatura a tre superfici (smussi superiori/inferiore e apice del wafer), forniamo anche la lucidatura a specchio della regione di orientamento piatto e tacca per rimuovere i danni e preparare l'intero dominio dell'area di smusso del bordo.