Trasmettitore di vuoto con sensore combinato (piezo/Pirani) VSL
RS485EtherCAT

trasmettitore di vuoto con sensore combinato (piezo/Pirani)
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Caratteristiche

Tecnologia
con sensore combinato (piezo/Pirani)
Altre caratteristiche
RS485, EtherCAT
Range di vuoto

Max.: 1.200 mbar
(17,404528528 psi)

Min.: 0,0001 mbar
(0,00000145 psi)

Descrizione

Il trasduttore di vuoto VSL è stato sviluppato appositamente per le chiusure di carico. Il manometro sigillato in metallo utilizza una tecnologia multi-sensore e combina due piezo con un sensore Pirani. Pertanto, il trasduttore di vuoto misura la pressione assoluta nell'intervallo di 1200 ... 1e-4 mbar e la pressione relativa rispetto all'ambiente nell'intervallo di -1060 ... +340 mbar. Panoramica del trasduttore di vuoto VSL con multi sensore Piezo/Pirani: - Sistema multi sensore integrato: Due sensori piezoelettrici a membrana per monitorare il pump-down e il vent-up della camera; il sensore Pirani, che misura fino a 10-4 mbar, controlla il trasferimento di bassa pressione tra il loadlock e la camera di processo, riducendo al minimo gli eventi particellari - Interfacce digitali RS485 più segnale di uscita 0-10 V, EtherCAT o PROFINET - Uscita di pressione differenziale per attivare con precisione la funzione di apertura delle porte - Alta precisione, risoluzione ottimale ed eccellente stabilità - Tempo di risposta breve, fino a 40 ms - Letture stabili grazie alla compensazione ottimizzata della temperatura - Misure indipendenti dal tipo di gas al di sopra dei 20 mbar

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Fiere

Fiere a cui parteciperà questo venditore

SVC TechCon

7-08 mag 2024 Chicago (USA - Illinois) Stand 1002

  • Maggiori informazioni
    Semicon Europa

    12-15 nov 2024 Munich (Germania) Hall C2 - Stand 370

  • Maggiori informazioni
    * I prezzi non includono tasse, spese di consegna, dazi doganali, né eventuali costi d'installazione o di attivazione. I prezzi vengono proposti a titolo indicativo e possono subire modifiche in base al Paese, al prezzo stesso delle materie prime e al tasso di cambio.