Il trasduttore di vuoto VSL è stato sviluppato appositamente per le chiusure di carico. Il manometro sigillato in metallo utilizza una tecnologia multi-sensore e combina due piezo con un sensore Pirani. Pertanto, il trasduttore di vuoto misura la pressione assoluta nell'intervallo di 1200 ... 1e-4 mbar e la pressione relativa rispetto all'ambiente nell'intervallo di -1060 ... +340 mbar.
Panoramica del trasduttore di vuoto VSL con multi sensore Piezo/Pirani:
- Sistema multi sensore integrato: Due sensori piezoelettrici a membrana per monitorare il pump-down e il vent-up della camera; il sensore Pirani, che misura fino a 10-4 mbar, controlla il trasferimento di bassa pressione tra il loadlock e la camera di processo, riducendo al minimo gli eventi particellari
- Interfacce digitali RS485 più segnale di uscita 0-10 V, EtherCAT o PROFINET
- Uscita di pressione differenziale per attivare con precisione la funzione di apertura delle porte
- Alta precisione, risoluzione ottimale ed eccellente stabilità
- Tempo di risposta breve, fino a 40 ms
- Letture stabili grazie alla compensazione ottimizzata della temperatura
- Misure indipendenti dal tipo di gas al di sopra dei 20 mbar
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