Piattaforma antivibrazioni STACIS Quiet Island

Le fabbriche di produzione di semiconduttori (fabs), i centri di nanotecnologia, i Nanofab e altre strutture di produzione di precisione e di ricerca spesso incorporano camere bianche con un sistema di falsi pavimenti sopraelevati per soddisfare le esigenze di strutture complesse (impianti idraulici, cavi elettrici, tubazioni del gas, ecc.) e per mantenere rigorosi standard di pulizia. Tali pavimenti rappresentano una sfida per l'installazione di apparecchiature di produzione, ispezione e metrologia sensibili alle vibrazioni. I pavimenti sopraelevati non sono in grado di fornire il necessario ambiente di vibrazione silenzioso per tali utensili. Quiet Island® di TMC è una soluzione innovativa che sostituisce una sezione del pavimento sopraelevato con una "Quiet Island" ancorata al sottofondo sottostante. La Quiet Island consiste in una piattaforma compatibile con la camera bianca, combinata con una struttura di supporto specifica per l'applicazione e il sito. Cancellazione delle vibrazioni L'elemento di supporto principale e la tecnologia di base unica per la Quiet Island è il sistema di cancellazione attiva delle vibrazioni STACIS III. Questo sistema di supporto per la cancellazione inerziale delle vibrazioni in stile "rigido" è fondamentale per qualsiasi strumento sensibile alle vibrazioni, consentendo a tali strumenti di operare ai massimi livelli in un ambiente altrimenti rumoroso. STACIS III è compatibile con gli strumenti di elaborazione automatizzata dei wafer, gli strumenti di imaging ad alta risoluzione eBeam, gli strumenti di fresatura a fascio ionico e qualsiasi strumento con sistemi interni di isolamento delle vibrazioni, sia passivi che attivi (vedi il nostro libro bianco sull'impilamento attivo sugli isolatori attivi). Inoltre, fornisce il massimo isolamento dalle vibrazioni nella più ampia gamma di frequenze disponibili in commercio. Inoltre, il design "hard-mount" è estremamente rigido in modo che non ci siano problemi di stabilità per gli utensili alti e pesanti.