MISURATORE ATMOSFERICO PIRANI COMBO SW1 & ISG1
Ciò è un calibro del pirani della vasta gamma che misura da pressione atmosferica a 5×10-2 Pa (3.75×10-4 Torr, 5×10-4 mbar) Il filo di platino è usato per i filamenti, quindi, il filamento funzionerà anche a pressione atmosferica
Misure da pressione atmosferica a 5×10-2 Pa (3,75×10-4 Torr,
5×10-4 mbar)
Tensione di alimentazione
Alimentato con ingresso da 24VDC o 100VAC a 240VAC
Resistente agli urti
Il design è altamente resistente agli urti
Filamento Materiale: platino (Pt)
Il platino resistente alla corrosione viene utilizzato come materiale filamentoso
LED ad alta visibilità utilizzati per la visualizzazione degli errori
Regolazione one-touch
È possibile effettuare la regolazione atmosferica e la regolazione del punto zero
con one-touch
Manutenibilità
La testa del sensore può essere sostituita facilmente
Valore misurato Segnale di uscita Segnale di uscita
La pressione è compresa tra 0 e 10V Uscita log
Segnale di uscita di controllo
3 uscite set point
Specifiche di comunicazione seriale
Comunicazione RS485 (ISG1)
Unità display
Con LED visibili
Certificazione
Conforme alle norme CE
Controllo di processo nella gamma a basso vuoto di apparecchiature per il vuoto quali
come quello usato per i semiconduttori, l'ottica e il campo fotovoltaico, FPD,
produzione di parti elettroniche
Controllo di processo nel campo del basso vuoto per apparecchiature industriali quali
come forni a vuoto, ecc.
Controllo di processo in bassa pressione per sistemi a vuoto con
camere di processo multiple come la sputtering in linea e wafer singolo
attrezzature per la lavorazione
Per unità di pompaggio (sistema) che ha una vibrazione e/o ombreggiatura nell'impianto di pompaggio
processo di fabbricazione
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