Interferometro di Fizeau
Verifire™ MST Zygo Corporation

Caratteristiche

  • Specificazioni:

    di Fizeau

Descrizione


« Sistema dell'interferometro di Verifire™ MST per prova di superficie multipla
Sistema dell'interferometro di Verifire MST
Il Verifire™ MST fornisce i risultati e le capacità di misura mai prima disponibili. Il Verifire™ MST comincia con le applicazioni classiche dell'interferometro. Queste applicazioni tutte misurano le variazioni fra due superfici, una cavità di fronte d'onda della due-superficie. Tuttavia, misurare un piatto parallelo non rivestito dà due interferograms stratificati (una cavità della tre-superficie) che confondono soltanto gli algoritmi standard di interferometria di sfasamento.

ZYGO ha risolto questo problema usando lo spostamento di lunghezza d'onda della fase e Fourier Transform Phase Shifting Interferometry brevettato di ZYGO (FTPSI). Il Verifire™ MST può misurare la due-superficie, tre e perfino le cavità della quattro-superficie. Mostri tutte superfici, o soltanto le superfici di interesse, tutte all'interno del software di MetroPro®. I manufatti sono soppressi naturalmente facendo uso di FTPSI, eliminante l'esigenza di una fonte estesa.


Caratteristiche fondamentali:

• Simultaneamente due-superficie di misure, tre e perfino cavità della quattro-superficie.
• Notevolmente semplifica la metrologia di omogeneità.
• Carta al suolo anteriore di misure, variazione ottica di spessore e la superficie posteriore approximation. \ /html»

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