Interferometro laser / ottico / di Fizeau / a grande apertura
Verifire™ XL Zygo Corporation

Caratteristiche

  • Specificazioni:

    laser, ottico, di Fizeau, a grande apertura

Descrizione


L'interferometro di Verifire™ XL è una stazione di lavoro autonoma progettata per la metrologia semplicistica ed affidabile di grandi superfici piane fino a dodici pollici (300 millimetri) di diametro. Gli esempi includono i riflettori della anteriore-superficie, le finestre ed i wafer a semiconduttore o i mandrini del wafer.

Questo sistema completamente integrato è di facile impiego, con una punta/fase resistenti di inclinazione che fornisce la disposizione ripetibile della parte senza l'esigenza del fixturing su ordinazione. L'orma compatta, con isolamento antivibrante incorporato, richiede l'ingombro a pavimento minimo di produzione.

Vibrazione robusta
Il sistema di Verifire XL comprende la tecnologia brevettata di acquisizione del QPSI™ di ZYGO che permette alle misure di alta precisione affidabili in presenza della vibrazione. QPSI permette alla vera metrologia della forma della superficie di su asse, senza degradazione dalle vibrazioni tipiche di produzione.

Metrologia accurata
Il piano ad alto rendimento della trasmissione nel sistema di Verifire XL è progettato per la sensibilità minima a depressione gravitazionale ed include un archivio di calibratura di interamente area per permettere all'accuratezza del sistema ottimale.

Software di Mx™
La misura del Mx™ di ZYGO ed il software di analisi privati offre una vasta gamma di strumenti di visualizzazione di dati e delle caratteristiche operative per la capacità ineguagliata di misura in un'interfaccia di facile impiego. Il software del MX ora comprende la tecnologia di SmartAveraging™ che contribuisce ad ottenere la misura migliore.

Caratteristiche fondamentali:

• 12" apertura (300 millimetri)
• Orma compatta, sistema autonomo
• Caricamento ed allineamento facili della parte
• Messa a punto semplice ed operazione aerodinamica
• Trasmissione pre-allineata incorporata pianamente
• Isolamento antivibrante integrato e tecnologia di QPSI™ per le misure affidabili negli ambienti di produzione

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