Rilevamento della temperatura in fibra ottica per OEM tra -100 e 330ºC
I moduli semiconduttori Luxtron a quattro canali m924 e a due canali m922 di Advanced Energy sono progettati per il monitoraggio della temperatura di mandrini elettrostatici, camere e altri dispositivi
-Mescolare e abbinare i componenti
-Funziona con le attuali sonde a semiconduttore Luxtron a marchio Fluoroptic e le estensioni a fibra ottica
-Le tabelle di calibrazione integrate corrispondono a sonde EA personalizzate per misure di alta precisione
-È possibile ottenere un'accuratezza fino a ±0,05°C (a seconda della sonda)
Panoramica
La soluzione OEM completa della serie m920 Luxtron® m920 è costruita utilizzando l'assemblaggio del modulo elettronico con due schede più sonde. La scheda principale contiene canali di rilevamento della temperatura in fibra ottica, uscita digitale (RS232 ASCII e RS485 Modbus) e connessione di alimentazione. La scheda di uscita analogica fornisce un'uscita da 0 a 10 V o da 4 a 20 mA ed è montata sopra la scheda principale. È disponibile anche un contenitore metallico opzionale.
Il sistema della serie m920 utilizza la tecnologia Fluoroptic® . La scheda principale della serie m920 condiziona il segnale di misura delle sonde fluorottiche e segnala al sistema di controllo OEM una temperatura calibrata.
Vantaggi
-Ottenere un'elevata precisione e un'elevata gamma di temperature per diversi processi di incisione e fabbricazione di wafer
-Monitoraggio di condizioni di rampa più rapide con una velocità di campionamento rapida
-Migliori misure di temperatura con questa soluzione a basso rumore
-Sfruttare l'elevata affidabilità per bassi tassi di guasto
-Il supporto per la ricezione supporta l'integrazione personalizzata e la progettazione di sonde in tutto il mondo
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