Alimentatore elettrico benchtop Trek series

DCregolabilecon protezione contro la sovratensione

Panoramica Le alimentazioni Trek per e‑chuck (electrostatic chuck) di Advanced Energy offrono controllo preciso della tensione di serraggio, della tensione di offset e del bias DC, insieme a soglie configurabili per over‑current, wafer‑present e wafer‑clamped. Sequenze custom di clamp/de‑clamp e forme d'onda programmabili ottimizzano il comportamento del chuck per ridurre il fenomeno di wafer sticky e wafer‑popping, migliorando la produttività e la resa nei processi di produzione dei semiconduttori.

Stato del prodotto Active

Caratteristiche principali

• Soglie monitorate: over‑current, wafer‑present e wafer‑clamped
• Tensioni regolabili: tensione di serraggio e tensione di offset
• Controllo bias DC: interno o esterno
• Sequenze personalizzabili: clamp/de‑clamp configurabili e forme d'onda programmabili
• Progettato per prevenire sticky wafer e wafer‑popping
• Migliora il throughput, riduce i danni ai wafer e aumenta la resa

Documentazione tecnica (selezionata)

• Trek 645 Scheda tecnica — Scheda tecnica — PDF — 111 KB — 6 febbraio 2024
• Trek 645‑HT Scheda tecnica — Scheda tecnica — PDF — 163 KB — 11 dicembre 2025
• Trek 646 Scheda tecnica — Scheda tecnica — PDF — 116 KB — 18 febbraio 2024
• Electrostatic Semiconductor Wafer Clamping/Chucking System (ESC) Application Note — Note applicativa — PDF — 607 KB — 15 giugno 2023

Applicazioni Per processi di produzione dei semiconduttori che richiedono un controllo affidabile dell'alimentazione degli electrostatic chuck: deposizione, incisione, impianto e ispezione con fascio di elettroni.

Specifiche tecniche

• Parametri di controllo: over‑current, wafer‑present, soglie wafer‑clamped
• Controlli di tensione: tensioni di clamp e offset regolabili
• Controllo bias: controllo DC‑bias interno o esterno
• Controllo sequenze: sequenze clamp/de‑clamp configurabili e forme d'onda programmabili
• Benefici principali: riduce i danni ai wafer, previene il sticky e il popping, migliora resa e throughput
• Modelli citati: Trek 645, Trek 645‑HT, Trek 646