Il software consiste di un programma principale che fornisce l'interfaccia di utente ed il vario ingreso/uscita della macchina funziona, insieme almeno a due biblioteche (DLL) che forniscono l'elaborazione di spettro ed i calcoli di ZAF per gli spettri presi su un SEM misura con un rivelatore di EDS.
Il software funziona sui pc standard e sui sistemi operativi (Windows XP, 7, ecc.). L'analisi completa di ZAF è possibile, con o senza i campioni, usando una base di dati interna dei parametri fondamentali (FP) quali i coefficenti di assorbimento, i rendimenti di fluorescenza, le probabilità di transizione, ecc. Ci è inoltre un modulo di esposizione di spettro incluso.
Il software inoltre include l'aquisizione degli spettri per mezzo dei fissaggi di Amptek DPP. I metodi ed i risultati che di fondo la lima (una cosiddetta lima di EDX) può essere installata e riutilizzata per analisi di routine, o gli elementi possono essere selezionati per ogni nuova analisi dello spettro.
Il software può analizzare i materiali alla rinfusa o un materiale di sottili pellicole a un solo strato. L'analisi può essere fatta a meno di i campioni se i risultati possono essere normalizzati a 100%. Nel usando i campioni, lo spessore può anche essere determinato o i risultati non devono essere normalizzati.
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