Misuratore termico di portata massica PFLOW10U-2210

massicoper ariaper acqua

FLUTTUARE: Sensori di flusso d'aria di massa MEMS OEM per applicazioni mediche e di controllo di processo Con elevata resistenza all'intasamento e agli shock di pressione PEWATRON ha rilasciato il nuovo sensore di flusso d'aria di massa MEMS PFLOW che incorpora le più recenti innovazioni MEMS e microelettronica. Il sensore PFLOW ha un'altissima resistenza all'intasamento e agli shock di pressione. Grazie all'innovativo sistema di isolamento termico MEMS non richiede membrane sottili e fragili o cavità superficiali per l'isolamento termico. Il sensore ha una sensibilità molto elevata a bassi flussi ed è quindi perfettamente adatto per applicazioni mediche e avanzate nell'industria di processo. La filiera di rilevamento del flusso è costituita da due termopile simmetricamente posizionate a monte e a valle di un elemento riscaldante che riscalda le giunzioni a caldo. Ogni termopila è composta da 20 termocoppie in serie per rivelare il massimo livello di sensibilità. Quando un flusso passa sopra lo stampo, le termopile generano una tensione di uscita proporzionale al gradiente di temperatura (asimmetrico) tra il giunto caldo e freddo per effetto Seebeck. Nel caso in cui il fluido sia statico (nessuna portata), il profilo di temperatura sia a monte che a valle è simmetrico. Sono disponibili cinque campi di misura standard da 0....10 SCCM a 0...2000 SCCM, nonché campi di misura specifici per il cliente tra 10 e 2000 SCCM. La precisione è migliore di +/-2,0% FS e l'uscita analogica compensata in temperatura (0...50°C) è altamente lineare con il flusso. La tensione di uscita analogica è compresa tra 1 e 5 VDC e il sensore è resistente alla condensazione dell'acqua. Il tempo di risposta è molto veloce, e circa 1-3 ms.