I filtri dalla capsula di CSE sono assemblee compatte della capsula. Sono sviluppati per la filtrazione di photoresist, di sviluppatore, dell'estrattore etchant e di DI l'water nel processo di fotolitografia come pure per la filtrazione di piccoli prodotti chimici in lotti del volume.
Caratteristiche e benefici
Costruzione compatta e robusta del ●
Resistenza ad alta pressione del ●
Il ● in basso ostacola il volume
progettazione O-ringless del ●
Progettazione eliminabile del ●, cambiamento-fuori facile
Qualità
Le capsule del ● hanno prodotto in un ambiente controllato
Il ● ha fabbricato secondo ISO9001 ha certificato il sistema di gestione della qualità
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