L13E serie Ф131 ultra-high throughput cartucce filtranti sono specificamente progettati per le applicazioni di trattamento a umido nella produzione di TFT-LCD, come la pulizia del substrato, incisione, stripping e DI acqua di lavaggio. I filtri sono disponibili in vari materiali e con un'ampia gamma di gradi di rimozione, con la loro costruzione unica e l'elevata area di filtrazione, con conseguente riduzione dei costi di sostituzione e di esercizio. Hanno un'eccellente compatibilità con i vari liquidi di processo, in grado di 200 l/min necessari per il processo G6-10
Caratteristiche e vantaggi
Disponibile in diversi materiali e gradi di rimozione
Elevata area di filtrazione e lunga durata di servizio
Elevate portate e basse perdite di carico
Riduzione dei costi operativi di filtrazione
Qualità
Cartucce prodotte in ambiente controllato
Prodotto secondo il sistema di gestione della qualità certificato ISO9001
Specificazione
Cartuccia filtrante serie L13E per applicazioni di pulizia a umido
Materiale di costruzione
Membrana
PP/PES/PTFE
Supporto e drenaggio
PP
Nucleo e gabbia
PP
Tappi
PP
O-ring/guarnizione
EPDM/Viton/TEV
Tecnologia di tenuta
Incollaggio termico, senza adesivi
Dimensioni
Diametro esterno
131 mm (5,2 in)
Lunghezza
10”
Area di filtrazione
≥ 20,0 ft2 (1,86 m2)
Rimozione Valori nominali, μm
PP: 2.0, 4.5, 10, 20, 30, 40
PES: 0,1, 0,22, 0,45, 1,2
PTFE: 1.0, 3.0, 3.0, 10
Temperatura massima di esercizio
80℃(176℉)
Massima pressione differenziale in avanti
4.1 bar @ 20 ℃/60 psid @ 68℉
3.4 bar @ 50 ℃/50 psid @122℉
3.1 bar @ 80℃/45psid @ 176℉
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