« I misuratori di massa del gas dell'idrogeno e dell'elio di serie del CMS impiegano il nostro sensore termico di portata di micro flusso privato come l'elemento sensibile. Con integrazione di questo sensore di portata in peso di ultraminiature, che è fabbricata facendo uso della tecnologia micromachining e della progettazione di canale ultrafine avanzata, un livello senza precedenti di alta precisione e l'ampia gamma di misura è stato raggiunto a basso costo. Sia la facilità d'uso di vanto che l'alta affidabilità, questi misuratori di portata fisseranno la norma per il future. \ /html»
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