Sensore di portata termico di portata massica TFSC100

d'aria

I chip del sensore termico di flusso modello TFSC100 sono stati sviluppati per la produzione di sensori di flusso (ad esempio, i sensori di flusso TFS2100 di BCM SENSOR). Poiché il chip TFSC100 è privo di parti mobili, è adatto alla misurazione di basse portate di aria o gas e può fornire segnali stabili e affidabili ai sensori di flusso. La misurazione del flusso da parte di questo chip sensore è realizzata grazie a un ponte termico che consiste in quattro resistenze termiche che formano un circuito completo a ponte di Wheatstone. Queste resistenze termiche sono realizzate con una pellicola di platino sul chip attraverso il processo MEMS. Grazie alla progettazione dedicata del circuito di misura, le caratteristiche delle due resistenze termiche lontane dal riscaldatore sono uguali a quelle delle altre due vicine al riscaldatore. In questo modo, il sensore di flusso TFSC100 funziona come un sensore lineare. Per comprendere il funzionamento di questo chip sensore, si consiglia di consultare i due schemi riportati nella sezione Principio di funzionamento di questa scheda tecnica. Sebbene per il wire bonding si possano utilizzare sia fili d'oro che di alluminio, si consiglia di utilizzare fili d'oro. Questo perché i fili d'oro possono garantire al chip del sensore una maggiore stabilità e resistenza alla corrosione e all'umidità quando il chip del sensore misura il fluido. Per proteggere il chip del sensore, sulla superficie superiore del chip TFSC100 è presente uno strato di passivazione che conferisce al chip una resistenza alla polvere e all'umidità.