La rettificatrice completamente automatica è una rettificatrice di alta precisione dotata di un sistema di carico e scarico completamente automatico, utilizza un manipolatore di wafer per prelevare i wafer, ha funzioni di centratura, pulizia e asciugatura automatiche. Può realizzare il processo di rettifica automatica da cassetta a cassetta e mantenere i wafer asciutti dentro e fuori.
Funzione completa
Misurazione e compensazione automatica dello spessore, programma di rettifica a più fasi, attesa in caso di sovraccarico e altre funzioni, per soddisfare i vari requisiti di processo.
Specifiche abbondanti
Unità di rettifica a singolo o doppio asse.
Sistema completamente automatico
Carico e scarico completamente automatico, sistema di macinazione automatico per mantenere i wafer asciutti dentro e fuori
Buona compatibilità
Il tavolo operativo può essere personalizzato in base alle esigenze del cliente, in grado di soddisfare i requisiti del processo di macinazione e assottigliamento di vari materiali semiconduttori.
---