Questa macchina è una macchina per la pulizia dei wafer completamente automatica, azionata automaticamente da un manipolatore in un ambiente chiuso, con funzioni di pulizia e asciugatura, adatta alla pulizia di vari materiali del substrato dei semiconduttori dopo la lucidatura e in grado di ridurre efficacemente la contaminazione delle particelle sulla superficie del wafer.
Funzioni complete
Con la funzione di pulizia e asciugatura, azionata da un manipolatore in un ambiente chiuso, a basso rischio, prevenzione dell'inquinamento secondario.
Funzionamento semplice
Controllo PLC touch screen, il manipolatore completa automaticamente il processo di pulizia automatica dei wafer da cassetta a cassetta.
Buona compatibilità
Compatibile con wafer da 2, 4 e 6 pollici
Ingombro ridotto
Riduce al minimo lo spazio a terra nella camera bianca.
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