Gli MFC CS200 con sensore avanzato e tecnologia di compensazione della temperatura possono raggiungere una precisione di ±1%S.P. e un basso coefficiente di temperatura. Inoltre, gli MFC CS200 con il sistema di controllo avanzato hanno un tempo di risposta medio di 800 ms per tutte le modifiche del set point, riducendo al minimo gli errori di sistema nel processo.
Caratteristiche
1. Alta precisione e risposta rapida
l'accuratezza del CS200 MFC è stata migliorata fino a ±1,0% di S.P. e i modelli più avanzati hanno un tempo di risposta ridotto, inferiore a 0,8 secondi.
2. Bassa deriva di zero e coefficiente di temperatura
l'invenzione di una nuova tecnologia dei sensori consente al CS200 MFC di mantenere la stabilità e di resistere alle fluttuazioni di temperatura. Senza un amplificatore di zero automatico, la deriva di zero prevista è inferiore allo 0,6%F.S./anno e il coefficiente di temperatura è inferiore allo 0,02%F.S./℃(zero),0,05%F.S./ ℃ (span).
3. Modelli con guarnizione metallica e caratteristiche di elevata purezza
il percorso del flusso bagnato della linea CS200 MFC è costruito in acciaio inossidabile passivato in superficie. Tutti gli MFC CS200 sono assemblati nelle camere bianche ultraclean di Classe 100 di Sevenstar, in conformità agli standard SEMI e ISO 9001.
4. Interfacce compatibili
il CS200 MFC è compatibile con le seguenti interfacce, che possono essere selezionate dal cliente: alimentazione doppia ±8V-±16V e alimentazione singola +14V-+28V; ingresso e uscita di segnale digitale o analogico; dimensioni meccaniche standard SEMI; modulo di comunicazione RS-485 o DeviceNet.
5. Funzioni varie
ogni modello è dotato di serie di un potente software per il cliente, mentre funzioni aggiuntive quali multigas, multirange, autozero, allarmi, avvio graduale e ritardo sono disponibili a scelta del cliente.
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